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2023年8月3日晚間,微導納米(688147.SH)披露調研紀要顯示,公司半導體ALD設備的應用場景均代表國內半導體各細分領域的工藝多元化發展方向,在邏輯芯片、存儲芯片、新型顯示芯片、化合物半導體領域均有設備訂單,并逐步推動在客戶端驗證或驗收。
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