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華海清科(688120)于2013年4月成立，技術背靠清華大學摩擦學國家重點實驗室，專注于半導體CMP(化學機械拋光)設備的研發、生產、銷售及技術服務，是國內唯一實現12寸CMP設備商業化的供應商。公司的CMP設備總體技術性能已達到國內領先水平，目前28nm及以上機臺出貨進入快速增長期，14nm及以下機臺驗證進展順利。2019-2021年，華海清科在長存、華虹無錫、上海華力一二期項目、上海積塔四家的CMP設備招標中合計份額為21.05%、40.24%、44.26%，公司已量產CMP設備實現國產替代，技術能力媲美行業龍頭。2018-2020年，在本土CMP設備市占率分別為1.05%、6.12%和12.64%，2021年按出貨口徑測算，公司市占率接近30%。

CMP設備新增需求超過500億元，公司CMP業務有較大成長空間。中國大陸成為全球晶圓擴產中心，根據集微咨詢，中國大陸未來5年將新增25座12英寸晶圓廠，總規劃月產能將超過160萬片，預計對CMP設備的需求將達到563億元。全球CMP設備由AMAT和日本荏原主導，2019年全球市占率合計高達95%。華海清科為本土12英寸CMP設備唯一國產供應商，公司CMP設備已應用于當前國內大生產線的最高水平，14nm也在客戶驗證，將充分受益進口替代趨勢。若僅考慮在本土新建12英寸晶圓廠擴產需求帶動下，中性預計2022-2026年公司CMP設備收入規模合計可達197億元。截至2021年底，公司已發出未驗收結果CMP設備69臺，未發出產品的在手訂單超70臺，隨著募投項目(擴產100臺/年)順利推進，公司業績也將迎來快速增長期。

CMP設備后市場是重要組成部分，公司耗材服務收入快速提升。CMP設備耗材使用量大、核心零部件需定期維保，是后服務市場需求較大的環節。受益本土晶圓廠大規模擴產，預估僅2022-2026年中國大陸12英寸晶圓新增產能，在2026年對CMP設備配套耗材、7分區拋光頭維保服務的需求就分別可達12億元、36億元。2021年，公司CMP配套材料及技術服務收入達到1.11億元，2018-2021年CAGR高達205%。隨著公司CMP設備持續大規模出貨，后服務業務有望保持高速增長態勢。中性情形下，僅考慮2022-2026年本土新建12英寸晶圓廠擴產需求，預計公司CMP設備配套材料&技術服務的遠期收入規模將達到16.58億元。

晶圓再生需求日益增長，IPO擴產將成公司新的增長點。晶圓再生主要用于晶圓制造產線中測試片的回收再利用，預計2026年中國大陸晶圓再生市場規?？蛇_19億元(僅考慮12英寸)。全球晶圓再生產能高度集中于日本和中國臺灣，本土至純科技、協鑫集成等企業均在積極布局晶圓再生業務，合計設計產能達到111萬片/月。公司IPO募投加碼晶圓再生業務，規劃產能為10萬片/月。晶圓再生其中涉及CMP工藝的拋光環節可以高精度修復前段工藝留下的不平整晶圓表面，是晶圓再生工藝流程的核心技術難點，屬于公司CMP主業的技術外延，公司晶圓再生業務具備突出重圍的潛力，有望成為公司新的增長點。

東吳證券表示，公司作為本土稀缺的12英寸CMP設備國產供應商，有望充分受益于晶圓產能東移和半導體設備國產替代趨勢，同時縱向拓展耗材服務與晶圓再生業務，成長性較為突出。預計公司2022-2024年營業收入分別為16.79億元、25.19億元和32.74億元，分別同比增長108.62%、50.00%和30.00%;2022-2024年歸母凈利潤分別為3.57億元、5.41億元和7.19億元，分別同比增長79.92%、51.71%和32.89%，對應EPS分別為3.34元、5.07元和6.74元，首次覆蓋，給予“買入”評級。

山西證券表示，公司是國內唯一量產12英寸CMP設備廠商，產品進駐國內多條大生產線，在手訂單豐富，業績穩定快速增長，技術、產品及地域優勢有望再提升公司市占率。預計公司2022-2024年分別實現營業收入17.37億元、26.59億元、34.69億元，同比增長115.8%、53.1%、30.5%;分別實現凈利潤2.97億元、4.92億元、7.06億元，同比增長50.0%、65.3%、43.6%;對應EPS分別為2.79元、4.61元、6.62元，首次覆蓋給予增持-A評級。記者 劉希瑋